斎藤 美奈 | コマツ電子金属株式会社 研究開発センター

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概要

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• 同名の論文著者
• コマツ電子金属株式会社 研究開発センターの論文著者

関連著者

• 宮村 佳児

  コマツ電子金属

• JABLONSKI Jaroslaw

  コマツ電子金属株式会社研究開発センター物性研究室

• Jablonski Jaroslaw

  Komatsu Electronic Metals Co. Ltd. Hiratsuka Jpn

• 斎藤 美奈

  コマツ電子金属株式会社 研究開発センター

• 片山 達彦

  コマツ電子金属株式会社 研究開発センター

• Jablonski Jaroslaw

  コマツ電子金属株式会社 研究開発センター

著作論文

• 低ドーズSIMOXウェーハの埋込酸化膜におけるITOXの効果

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