前田 智彦 | 長岡技術科学大学工学部電気系
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概要
関連著者
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赤羽 正志
長岡技術科学大学
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安井 寛治
長岡技術科学大学
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前田 智彦
長岡技術科学大学工学部電気系
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橋場 正啓
長岡技術科学大学工学部電気系
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成田 克
山形大学工学部
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成田 克
長岡技術科学大学
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朝田 邦夫
長岡技術科学大学工学部電気系
著作論文
- 有機ケイ素化合物を用いた減圧CVD法によるAlN上SiCのエピタキシャル成長
- DMSを用いたトライオードプラズマCVD法による3C-SiCの低温エピ成長
- C-6-13 トライオードプラズマCVD法による有機ケイ素化合物を用いた3C-SiC低温成長
- C-6-14 トライオードプラズマCVD法によるモノメチルシランを用いたβ-SiCエピタキシャル成長
- MMSiを用いたトライオードプラズマCVD法による3C-SiCの低温成長