橋場 正啓 | 長岡技術科学大学工学部電気系
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概要
関連著者
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赤羽 正志
長岡技術科学大学
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安井 寛治
長岡技術科学大学
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橋場 正啓
長岡技術科学大学工学部電気系
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前田 智彦
長岡技術科学大学工学部電気系
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石橋 充好
長岡技術科学大学工学部電気系
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Kishore Goundar
長岡技術科学大学 電気系
著作論文
- トライオードプラズマCVD法による3C-SiCエピ成長膜特性の高周波電力依存性
- C-6-1 トライオードプラズマCVD法による3C-SiC成長におけるRF電力依存性
- DMSを用いたトライオードプラズマCVD法による3C-SiCの低温エピ成長
- C-6-13 トライオードプラズマCVD法による有機ケイ素化合物を用いた3C-SiC低温成長
- C-6-19 フラックス法によるAl_xGa_N、ln_yGa_N単結晶の成長
- C-6-14 トライオードプラズマCVD法によるモノメチルシランを用いたβ-SiCエピタキシャル成長