後藤 欣哉 | 東北大学電気通信研究所附属超高密度・高速知能システム実験施設
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概要
関連著者
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澤田 康次
東北大学電気通信研究所
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室田 淳一
東北大学電気通信研究所
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後藤 欣哉
株式会社ルネサステクノロジ
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室田 淳一
東北大学 電気通信研究所
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後藤 欣哉
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室田 淳一
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藤本 浩章
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高澤 裕真
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前田 孝浩
東北大学電気通信研究所
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高澤 裕真
日立国際電気
著作論文
- LPCVD法によるSi_Ge_xエピタキシャル成長におけるPおよびBドーピング
- 高清浄CVD法によるBドープSi_Ge_x薄膜の形成
- 選択Si_Ge_x CVDによる自己整合極浅接合形成と超微細MOSFETの製作