神力 博 | 東京エレクトロン(株)
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概要
関連著者
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神力 博
東京エレクトロン(株)
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神力 博
東京エレクトロンat(株)枚葉成膜システム開発本部
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高橋 毅
東京エレクトロンat(株) 枚葉成膜システム開発本部
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青山 真太郎
東京エレクトロンAT(株)枚葉成膜システム開発本部プロセス開発プロジェクト
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青山 真太郎
東京エレクトロンat(株)枚葉成膜システム開発本部
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杉浦 正仁
東京エレクトロン(株)
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下村 晃司
東京エレクトロン(株)
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神力 博
日本エーエスエム 開発部門
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久保 万身
東京エレクトロンAT(株) 枚葉成膜システム開発本部
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井下田 真信
東京エレクトロンAT(株)枚葉成膜システム開発本部
著作論文
- CVD-Ta_2O_5, ZrO_2膜の表面ラフネス低減
- 真空紫外光を用いた極薄界面酸化膜、酸窒化膜の形成
- Hf[N(C_2H_5)_2]_4を用いたMOCVDによるHfO_2膜の形成技術
- エタノール添加による枚葉式CVD-Ta_2O_5成膜速度の高速化