高橋 毅 | 東京エレクトロンat(株) 枚葉成膜システム開発本部

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概要

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関連著者

• 神力 博

  東京エレクトロン(株)

• 高橋 毅

  東京エレクトロンat(株) 枚葉成膜システム開発本部

• 神力 博

  東京エレクトロンat(株)枚葉成膜システム開発本部

• 久保 万身

  東京エレクトロンAT(株) 枚葉成膜システム開発本部

• 青山 真太郎

  東京エレクトロンAT(株)枚葉成膜システム開発本部プロセス開発プロジェクト

• 青山 真太郎

  東京エレクトロンat(株)枚葉成膜システム開発本部

著作論文

• CVD-Ta_2O_5, ZrO_2膜の表面ラフネス低減
• Hf[N(C_2H_5)_2]_4を用いたMOCVDによるHfO_2膜の形成技術

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