エタノール添加による枚葉式CVD-Ta_2O_5成膜速度の高速化

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概要

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• 1996-12-05

著者

• 杉浦 正仁

  東京エレクトロン(株)

• 下村 晃司

  東京エレクトロン(株)

• 神力 博

  東京エレクトロン(株)

• 神力 博

  日本エーエスエム 開発部門

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