プラズマ原子層成長によるRuTa合金上へのCVD-Cuによる埋め込み

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概要

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• 2008-07-10

著者

• 鄭 大均

  日本エーエスエム 開発部門

• 井上 裕章

  日本エーエスエム 開発部門

• 神力 博

  日本エーエスエム 開発部門

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