青園 隆司 | (株)岡野製作所
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概要
関連著者
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岡野 夕紀子
(株)岡野製作所
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田尻 修一
(株)岡野製作所
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青園 隆司
(株)岡野製作所
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岡本 昭夫
大阪府立産業技術総合研究所
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小川 倉一
小川創造技術研究所
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美馬 宏司
大阪市立大学
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小川 倉一
(財)大阪産業振興機構
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岡野 夕紀子
株式会社岡野製作所
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田尻 修一
株式会社岡野製作所
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青園 隆司
株式会社岡野製作所
著作論文
- Ta-Al複合ターゲットを用いた反応性スパッタ法による窒化物薄膜の形成
- TaAl-Nを用いた薄膜マイクロ真空センサの開発(センサーデバイス,MEMS,一般)
- 高周波電力を重畳した直流反応性スパッタ法によるTaAl-N薄膜の作製
- 反応性スパッタ法により作製したTaAl-N薄膜の抵抗温度係数の窒素分圧依存性
- ポリイミドフィルムへのTaAl-N薄膜の形成 : 広領域真空センサ応用への可能性の検討