岡野 夕紀子 | (株)岡野製作所

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概要

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• 同名の論文著者
• (株)岡野製作所の論文著者

関連著者

• 岡野 夕紀子

  (株)岡野製作所

• 田尻 修一

  (株)岡野製作所

• 青園 隆司

  (株)岡野製作所

• 岡本 昭夫

  大阪府立産業技術総合研究所

• 小川 倉一

  小川創造技術研究所

• 美馬 宏司

  大阪市立大学

• 小川 倉一

  (財)大阪産業振興機構

• 岡野 夕紀子

  株式会社岡野製作所

• 田尻 修一

  株式会社岡野製作所

• 青園 隆司

  株式会社岡野製作所

著作論文

• Ta-Al複合ターゲットを用いた反応性スパッタ法による窒化物薄膜の形成
• TaAl-Nを用いた薄膜マイクロ真空センサの開発(センサーデバイス,MEMS,一般)
• 高周波電力を重畳した直流反応性スパッタ法によるTaAl-N薄膜の作製
• 反応性スパッタ法により作製したTaAl-N薄膜の抵抗温度係数の窒素分圧依存性
• ポリイミドフィルムへのTaAl-N薄膜の形成 : 広領域真空センサ応用への可能性の検討

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