熊巳 創 | 東北大学工学研究科電子工学専攻

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概要

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関連著者

• 大見 忠弘

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 熊巳 創

  東北大学工学研究科電子工学専攻

• 進藤 亘

  東北大学工学研究科電子工学専攻

• 本藤 哲史

  東北大学工学研究科電子工学専攻

• 大見 忠弘

  東北大学工学部

• 大見 忠弘

  東北大学 未来科学技術共同研究センター

• 本藤 哲史

  東北大学大学院工学研究科電子工学専攻

• 熊巳 創

  東北大学大学院工学研究科電子工学専攻

• 進藤 亘

  東北大学大学院工学研究科電子工学専攻

• 大見 忠弘

  東北大学未来科学共同センター

著作論文

• 低エネルギイオン照射を用いたボロンドープシリコン単結晶薄膜の形成
• 低エネルギイオン照射を用いたシリコン薄膜形成時に生じるドーパント(As, P, Sb, B)の不活性化
• 低エネルギイオン照射を用いたシリコン薄膜形成時に生じるドーパント(As, P, Sb, B)の不活性化
• 低エネルギイオン照射を用いたシリコン薄膜形成時に生じるドーパント(As, P, Sb, B)の不活性化

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