小林 勲生 | 信州大学工学部電気電子工学科

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概要

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• 山上 朋彦

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• 林部 林平

  信州大学工学部電気電子工学科

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著作論文

• 反応性スパッタ法によるAlN薄膜の作製とLD用サブマウントへの応用(薄膜プロセス・材料,一般)

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