植木 武美 | Nttエレクトロニクス(株)saセンタ
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概要
関連著者
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植木 武美
Nttエレクトロニクス(株)saセンタ
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植木 武美
Nttエレクトロニクス
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植木 武美
NTTエレクトロニクス(株)
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中村 信二
Ntt エレクトロニクス(株)
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小峰 行雄
日本電信電話株式会社 Ntt通信エネルギー研究所
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中島 蕃
NTTエレクトロニクス(株) エレクトロニクス事業本部
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富沢 雅彰
NTT生活環境研究所
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竹田 忠雄
NTTシステムエレクトロニクス(株)研究所
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中島 蕃
Nttエレクトロニクス
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森 博太郎
大阪大学超高圧電子顕微鏡センター
著作論文
- ATM回線を介した超高圧電子顕微鏡による電子デバイス断面構造の遠隔観察
- 絶縁体上のシリコン層(SOI)に形成したデバイスにおけるタングステンコンタクト不良の構造解析
- ネットワークを介した超高圧電子顕微鏡によるLSI微細構造の遠隔観察 (特集論文 グローバルECS/GMNテストベッド)
- 23pYP-7 八面体空洞欠陥(DOV)の構造と生成・消滅過程
- CZ-Si中Grown-in欠陥の透過型電子顕微鏡による観察技術
- Siバルク単結晶内の8面体ボイド状欠陥
- ゲート酸化膜のウィークスポットを検出する銅析出法
- 断面TEMによるLSI故障解析技術
- 故障構造解析へのエキシマレ-ザの応用
- LSIの故障解析に適した断面TEM技術