本郷 幹雄 | (株)日立製作所

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概要

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関連著者

• 本郷 幹雄

  (株)日立製作所

• 上村 隆

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 佐野 秀造

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 佐野 秀造

  (株)日立メディコus事業本部

• 水越 克郎

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 高橋 貴彦

  日立製作所デバイス開発センタ

• 萩野 博之

  (株)日立製作所

• 和井 伸一

  (株)日立製作所

• 佐々木 秀昭

  (株)日立製作所

• 青木 誠

  (株)日立製作所

• 宮内 建興

  (株)日立製作所

• 佐々木 秀昭

  日立製作所

• 和井 伸一

  日立製作所

• 高橋 貴彦

  (株)日立製作所デバイス開発センタ

• 高橋 貴彦

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著作論文

• 222 ガラスフォトマスクのレーザによる修正技術の開発 : レーザマイクロプロセッシング技術の開発(3)
• レーザCVDで形成したMo配線の評価
• LSIのオンチップ配線修正システムにおけるレーザCVDを用いた配線接続装置の開発
• レーザ CVD による低抵抗配線の高速形成
• レーザ CVD で形成した配線接続部の接続抵抗低減

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