佐野 秀造 | (株)日立製作所生産技術研究所

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• 高橋 貴彦

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著作論文

• レーザCVDで形成したMo配線の評価
• LSIのオンチップ配線修正システムにおけるレーザCVDを用いた配線接続装置の開発
• レーザ CVD による低抵抗配線の高速形成
• レーザ CVD で形成した配線接続部の接続抵抗低減
• フレネル束ね方式電子走査アニュラアレイ探触子の開発

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