上村 隆 | (株)日立製作所生産技術研究所

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概要

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関連著者

• 上村 隆

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 佐野 秀造

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 佐野 秀造

  (株)日立メディコus事業本部

• 本郷 幹雄

  (株)日立製作所

• 水越 克郎

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 高橋 貴彦

  日立製作所デバイス開発センタ

• 高橋 貴彦

  (株)日立製作所デバイス開発センタ

• 高橋 貴彦

  (株)日立製作所

著作論文

• レーザCVDで形成したMo配線の評価
• LSIのオンチップ配線修正システムにおけるレーザCVDを用いた配線接続装置の開発
• レーザ CVD による低抵抗配線の高速形成
• レーザ CVD で形成した配線接続部の接続抵抗低減

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