中川 清和 | (株)日立製作所 中央研究所
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概要
関連著者
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中川 清和
(株)日立製作所 中央研究所
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中川 清和
日立中研
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半那 純一
東京工業大学大学院理工学研究科
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半那 純一
東京工業大学 像情報工学研究所
著作論文
- 微細単結晶球またはこれに付随した極微構造が関与
- SiGe(シリコンゲルマニウム)薄膜デバイスの研究状況と可能性
- 28a-C-13 Si-Geヘテロ構造の断面顕微ラマン分光
- 1p-PS-22 アモルファスシリコンのラマン散乱強度の光照射効果
- 12p-D-14 アモルファスシリコン膜の振動スペクトル
- 27a-SB-6 混相系アモルファスシリコン膜の振動スペクトル