平塚 善勝 | ダイキン工業株式会社 半導体機器部
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概要
関連著者
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平塚 善勝
ダイキン工業株式会社 半導体機器部
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平塚 善勝
ダイキン工業
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平塚 善勝
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著作論文
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- ダブルインレット型スターリングパルスチューブ冷凍機の試作
- 低ノイズ単段パルス管冷凍機の開発
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- D01 スターリング型パルス管冷凍機の開発 : 効率改善検討
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- Topical ICMC '98 'AC Loss & Stability':スターリング冷凍機