スターリング型パルス管冷凍機の開発 : 小型軽量化と効率改善検討
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概要
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- 2002-10-30
著者
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森下 弘之
ダイキン工業株式会社
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森下 弘之
ダイキン工業(株)半導体機器部
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平塚 善勝
ダイキン工業MEC研究所
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平塚 善勝
株式会社ダイキン空調技術研究所
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平塚 善勝
ダイキン工業株式会社 半導体機器部
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平塚 善勝
ダイキン工業
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