小守 純子 | (株)ルネサステクノロジ解析技術開発部

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関連著者

• 小守 純子

  (株)ルネサステクノロジ解析技術開発部

• 山本 茂久

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• 鈴村 直仁

  (株)ルネサステクノロジ解析技術開発部

• 小笠原 誠

  (株)ルネサステクノロジ解析技術開発部

• 真壁 一也

  (株)ルネサステクノロジ解析技術開発部

• 村上 英一

  (株)ルネサステクノロジ解析技術開発部

• 高田 佳史

  三菱電機(株)ulsi開発研究所

• 小山 徹

  株式会社ルネサステクノロジ

• 小山 浩

  三菱電機(株)

• 小山 浩

  三菱電機ulsi開発研究所評価・解析センター

• 山本 茂久

  三菱電機(株)ULSI開発研究所

• 小守 純子

  三菱電機(株)ULSI開発研究所

• 関根 正廣

  三菱電機(株)ULSI開発研究所

• 小守 純子

  株式会社ルネサステクノロジ

• 益子 洋治

  ルネサステクノロジー(株) 生産技術本部 ウエハプロセス技術統括部

• 吉田 映二

  株式会社ルネサステクノロジ

• 小山 徹

  (株)ルネサステクノロジ

• 吉田 映二

  (株)ルネサステクノロジ

• 益子 洋治

  (株)ルネサステクノロジ

• 関根 正廣

  三菱電機(株)

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著作論文

• ViaホールEM寿命のテスト構造依存性
• 2.4基板加工固浸レンズによる裏面故障診断の高分解能化(セッション2「故障解析2」)(日本信頼性学会第11回研究発表会報告)
• Cuイオンドリフトに起因したCu配線間TDDB劣化モデル(半導体表面・界面制御・評価と電子デバイスの信頼性)
• Cuイオンドリフトに起因したCu配線間TDDB劣化モデル(半導体表面・界面制御・評価と電子デバイスの信頼性)
• Cuイオンドリフトに起因したCu配線間TDDB劣化モデル(半導体表面・界面制御・評価と電子デバイスの信頼性)

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