阿部 敏雄 | 東芝 半導体技術部
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概要
関連著者
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阿部 敏雄
東芝 半導体技術部
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西 義雄
東京芝浦電機、半導体技術部
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東芝半導体技術部
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阿部 敏雄
"東京芝浦電機、半導体技術部
著作論文
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- GaAsの赤外吸収 : 応用半導体
- Si中不純物の拡散係数の濃度依存症について : 半導体 (拡散・インプランテーション)
- Determination of Impurity Profiles in Shallow Diffused Layers
- 誘電体分離ウェファの赤外線反射率 : 半導体(光学特性)
- 塩化水素-水素系に依る気相腐食法 : 結晶生長
- 酸化膜を利用したSiliconの気相成長 : 結晶生長