小中 雅水 | 東芝 半導体技術部

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概要

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• 同名の論文著者
• 東芝 半導体技術部の論文著者

関連著者

• 小中 雅水

  東芝 半導体技術部

• 阿部 敏雄

  東芝 半導体技術部

• 西 義雄

  東芝半導体技術部

• 西 義雄

  東京芝浦電機、半導体技術部

• 宮崎 綾夫

  東芝 半導体技術部

• 小中 雅水

  東芝半導体技術部

著作論文

• Si中不純物の拡散係数の濃度依存症について : 半導体 (拡散・インプランテーション)
• Determination of Impurity Profiles in Shallow Diffused Layers
• MOS構造による不純物濃度分布 : 半導体(結晶成長, Device (酸化膜))

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