松村 英樹 | 国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学・材料科学研究科

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概要

• 同名の論文著者
• 国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学・材料科学研究科の論文著者

関連著者

• 松村 英樹

  北陸先端科学技術大学院大学

• 増田 淳

  北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科:(現)産業技術総合研究所

• 松村 英樹

  北陸先端科学技術大学院大学マテリアルサイエンス研究科

• 増田 淳

  国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学・材料科学研究科

• 松村 英樹

  国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学・材料科学研究科

• 増田 淳

  北陸先端大

• 服部 亮

  三菱電機

• 奥 友希

  三菱電機株式会社高周波光デバイス製作所

• 梅本 宏信

  北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科

• 梅本 宏信

  国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学・材料科学研究科

• 橋本 康平

  国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科

• 高尾 和久

  東京応化工業株式会社プロセス機器事業本部

• 石橋 知淳

  東京応化工業株式会社プロセス機器事業本部

• 戸塚 正裕

  三菱電機株式会社高周波光デバイス製作所

• 服部 亮

  株式会社イオン工学研究所

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著作論文

• CS-5-7 Cat-CVD法により作製した窒化シリコン膜の特性とデバイス応用(CS-5.ナノスケール時代を迎えた薄膜電子材料の展開,エレクトロニクス2)
• 加熱触媒体により発生させた水素原子によるプラズマレス・レジスト剥離技術(薄膜プロセス・材料,一般)
• Cat-CVD法で作製したSiN_x膜のGaAsトランジスタ保護膜への応用(化合物半導体デバイスのプロセス技術)

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