服部 亮 | 株式会社イオン工学研究所

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概要

• 同名の論文著者
• 株式会社イオン工学研究所の論文著者

関連著者

• 服部 亮

  三菱電機

• 奥 友希

  三菱電機株式会社高周波光デバイス製作所

• 松村 英樹

  北陸先端科学技術大学院大学

• 増田 淳

  北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科:(現)産業技術総合研究所

• 松村 英樹

  北陸先端科学技術大学院大学マテリアルサイエンス研究科

• 増田 淳

  国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学・材料科学研究科

• 松村 英樹

  国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学・材料科学研究科

• 増田 淳

  北陸先端大

• 戸塚 正裕

  三菱電機株式会社高周波光デバイス製作所

• 服部 亮

  株式会社イオン工学研究所

著作論文

• Cat-CVD法で作製したSiN_x膜のGaAsトランジスタ保護膜への応用(化合物半導体デバイスのプロセス技術)

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