シリコンを用いた量子化機能素子の研究開発 (特集 量子化機能素子プロジェクト)

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概要

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• 新機能素子研究開発協会の論文

著者

• 空田 晴之

  松下電器産業 先端研

• 森本 廉

  松下電器産業株式会社先端技術研究所

• 森田 清之

  松下電器産業株式会社半導体社プロセス開発センター

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