減圧CVD法により成膜したアモルファスB-N-C膜の残留応力に対するアニ-ル効果

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概要

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• 日本金属学会の論文

著者

• 山口 貞衛

  千葉工業大学工学部

• 一ノ瀬 幸雄

  長岡技科大

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