極薄膜微結晶Si膜の作製とその特性

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概要

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• 電子技術総合研究所の論文

著者

• 石井 賢一

  産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門

• 鈴木 英一

  電総研

• 前田 辰郎

  電子技術総合研究所電子デバイス部

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