噴射加工による機能性セラミックス薄膜形成技術の可能性--エアロゾルデポジション法による高速コーティング (特集 ナノ微粒子製造法と利用技術--解説)

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著者

• 明渡 純

  産業技術総合研究所機械システム研究部門グループ

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