3D06 CVD SiC の高温酸化に及ぼす酸素ポテンシャルの影響

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概要

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• 日本セラミックス協会の論文
• 2000-10-11

著者

• 後藤 孝

  東北大金研

• 平井 敏雄

  東北大金研

• 本間 尚志

  東北大金研

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