圧力-吸着状態密度変換式による水排気曲線の解析
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概要
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A pumping-down curve of a vacuum chamber often shows a power-law dependence on time, which has been attributed to a distribution of the adsorption energy of molecules on the chamber wall. We have recently derived an analytical formula that directly converts pressure changes as a function of time into the adsorption density of states (ADOS). In the present paper, on the basis of this formula, we analyzed the pumping-down curves reported in literatures to obtain ADOS of water molecules. The ADOS was dependent on the initial exposure pressure of water. The origin of the pressure dependence is discussed.
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