斜入射keV中性粒子による2次電子放出
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概要
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For neutral measurements, secondary electron emission from a metal is investigated with obliquely incident neutrals at keV energy range. For the simulated study with computer, the Monte Carlo program TRIM85 of ion scattering in matter is used. In addition, an experimental study is done. The results of the computer simulation show that the amount of increase in the emission yield by obliquely incidence is smaller than that estimated With 1/cos φ (φ : incident angle), which is accepted generally in high energies. It is due to multi-collisions of incident neutrals with metal atoms. The experimental results approximately agree with the calculation ones although they may include some roughness effects of the surface.
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