反応性スパッタ蒸着による窒化チタン膜特性の窒素ガス分圧依存性
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概要
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This paper presents the mechanical characteristics and structures of titanium nitride (TiN) films formed by reactive sputter deposition. TiN films formed at N2 partial pressures below 2.0×10-3Pa are almost pure titanium and have a fibrous structure. It is thought that nitrogen collects in the dislocations. Films formed at N2 partial pressure of 2.0×10-3Pa were hardest and had the lowest coefficients of friction. They had a double structures, with a fine-grain structure above a columnular structure and it is thought that hardness was due to the existence of the fine-grain structure. Films formed at N2 partial pressure above 2.0×10-3Pa had a columnular structure.
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