反応性スパッタ蒸着による窒化チタン膜特性の窒素ガス分圧依存性
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
This paper presents the mechanical characteristics and structures of titanium nitride (TiN) films formed by reactive sputter deposition. TiN films formed at N2 partial pressures below 2.0×10-3Pa are almost pure titanium and have a fibrous structure. It is thought that nitrogen collects in the dislocations. Films formed at N2 partial pressure of 2.0×10-3Pa were hardest and had the lowest coefficients of friction. They had a double structures, with a fine-grain structure above a columnular structure and it is thought that hardness was due to the existence of the fine-grain structure. Films formed at N2 partial pressure above 2.0×10-3Pa had a columnular structure.
- 社団法人 表面技術協会の論文
著者
関連論文
- イヌ大腿骨に埋植した改良型Grit-blastインプラントの力学的・組織学的評価(外科学)
- 軸流ポンプの流量推定における課題の検討
- 数値流体力学解析による定常流血液ポンプの溶血量推定(G02-7 血流・血液,G02 バイオエンジニアリング部門)
- 627 血液ポンプ用磁性流体軸シールに関する検討
- スケーラーの基礎的研究 : 第2報 ヒト象牙質を用いてのルートプレーニングの最適条件について : 第28回秋季日本歯周病学会総会
- 遺伝アルゴリズムを応用した人工股関節ステム形状の最適設計(生体医工学シンポジウム2007)
- 大腿骨CT画像からの皮質骨輪郭抽出
- ポスト形態および材料が歯質に及ぼす影響 : 3次元有限要素法による内部応力の検討
- 数値流体力学解析を用いた定常流血液ポンプの改良設計
- 血中糖化LDLの除去を目的とした吸着材の開発