発光X線分析装置とその応用
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概要
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直径2〜8mmの電子線を試料に照射し,発生する固有X線を平板分光結晶を用いて真空分光して検知する化学分析用の発光X線分析装置を開発した.この装置の詳細と固体試料の定性および定量分析への応用が記載されている.BKα,CKα,NKα,OKαその他のX線スペクトルを測定した結果,電子線による励起は軟X線の分野すなわち軽元素の分析に有効であり,軽元素に対する最適励起電圧は,たとえばOKαの場合に約10kVと低いことが判明した.低合金鋼中のケイ素の検量線は良好な直線を示し,それより求めた検出限界は1分間計数で0.003%,精度は0.001%以下(標準偏差として)である.定性分析をガラスと低合金鋼について行なった.
- 社団法人 日本分析化学会の論文
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