高周波スパークイオン源で生成するイオンのエネルギー分布
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概要
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Mattauch-Herzog型二重収束質量分析器の加速電圧と静電場を利用し,高周波スパークイオン源で生成するイオンのエネルギー分布を種々の測定条件下で,種々の元素について測定した.イオン源内での加速スリットに対するスパーク位置の変化は,イオンのエネルギー分布の形にかなりの変化をもたらした.種々のスパーク条件のイオンのエネルギー分布に及ぼす影響について検討した結果,スパーク電圧,スパーク間げきはかなりの影響があったのに対し,パルス幅,パルスくりかえし数の影響はほとんどなかった.鉄鋼中の主成分および不純物元素のイオンのエネルギー分布を測定し,これと元素の相対感度係数との関係について考察した.
- 社団法人 日本分析化学会の論文
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