ソープションポンプとイオンポンプよりなる超高真空系の排気特性
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概要
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The performance of an experimental ultra-high vacuum system employing the combination of a sorption pump and a getter-ion pump is described. Measurements done on this system using dry air indicate that the most suitable pressure for switching-on the getter-ion pump is 12 × 10<SUP>-2</SUP> mmHg, and for closing the valve for rough pumping is 57 × 10<SUP>-3</SUP> mmHg. The start of getter-ion pump and its pumpdown characteristics are significantly affected by water vapor in the ambient, to which the system is exposed The warming up of the getter-ion pump during rough pumping or self-heating by pump current has a marked effect to improve the performance of the system. Some remarks are made on the merits of internal heater which is fitted into the getter ion pump.
- 日本真空協会の論文
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