イオンポンプとチタンサブリメーションポンプよりなる排気系の特性

概要

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イオンポンプとチタンサブリメーションポンプを組み合わせた排気系について報告したが、以下その結果をまとめてみると、 (1) チタンサブリメーションポンプは、活性ガスに対して大きな排気速度を持っが、不活性ガスに対しては排気能力が無い。これを解決するために小型のイオンポンプを組み合わせることは、非常に有効である。 (2) 径が、300mm, 高さ400mmのガラスベルジャを備えた蒸着装置を簡単なベークアウトで、10-8Torr台に75分、ゲッター膜面を液体窒素で冷却するクライオポンプを併用すると、約30分で10-9Torr台の圧力が得られる。 (3) 到達圧力での残留ガスの主なピークは、M/e;216, 18, 28, 29, 40, 44で、いわゆる重ハイドロカ-ボンは無視出来る程度である。 (4) 動作中チタンフィラメントから放出される主なガスは、水素で、フィラメントのガス出しを十分行なえば、減少出来る。 (5) チタンゲッタ膜の排気速度は、-50°〜100℃間で一定である。 (6) 10-7TGrr台で蒸着が出来、クライオポンプを併用すると、10-8Torr台で蒸着が出来る。