チタン・ゲッター・イオンポンプの特性とその応用
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概要
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With the advent of getter-ion pumps, it seems worthwhile to examine its pumping behaviour and effect on the residual gases within glass-metal vacuum system.<BR>A titanium getter-ion pump similar to the cold cathode “VacIon” type developed by Hall and the ultra-high vacuum mass spectrometer designed for the study of surface phenomena in ultra-high vacuum were chosen for this purpose.<BR>Some pumping characteristics of a getter-ion pump and vacuum phenomena in bakeable glass-metal lsystam evacuated by getter-ion pump at various baking conditions have been investigated.
- 日本真空協会の論文
著者
-
川崎 弘司
電気試験所
-
麻蒔 立男
日本電気株式会社
-
川崎 弘司
電子(田無)
-
杉田 利男
電気試験所(田無)
-
中谷 忠夫
日本電気株式会社・電子管工業部
-
麻蒔 立男
日本電気株式会社・電子管工業部
-
中谷 忠夫
日本電気株式会社
-
杉田 利男
電気試験所
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