トレーサー技術による冷陰極放電型ゲッタ・イオンポンプの排気機構の研究 (第1報)
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概要
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In order to stabilize the spontaneous periodic pressure fluctuation for inert gases as shown in diode type getter ion pump, a new modification of the construction of triode type getter ion pump in some different to the triode pumps already reported elsewhere has been made.<BR>Pumping mechanisms of diode pump and our triode pump have been examined by the use of radioactive Xe<SUP>131m</SUP>, and some problems in these pumps have been made clear.
- 日本真空協会の論文
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