蒸着モニターによる蒸発源の形と蒸発金属の密度分布測定 : 表面物理, 薄膜
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 社団法人日本物理学会の論文
- 1965-04-06
著者
関連論文
- イオンポンプとチタンサブリメーションポンプを組み合せた排気系の特性 : 測定技術
- 点状イオンコレクタ電離真空計の特性 : 測定技術(真空技術)
- 超高真空における電子ビーム蒸着 : 表面物理, 薄膜
- 蒸着モニターによる蒸発源の形と蒸発金属の密度分布測定 : 表面物理, 薄膜
- イオンポンプの排気特性に及ぼす水蒸気の影響と内部ヒーターの効果
- ソープションポンプとイオンポンプよりなる超高真空系の排気特性