酸化物ターゲットを用いたDCスパッタITO膜 : 第1報 : 低温ガラス基板への作製

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概要

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• 日本真空協会の論文

著者

• 田中 博由

  松下電器産業株式会社中央研究所

• 田中 博由

  松下電器産業(株)

• 安井 秀明

  松下電器産業(株)デバイス工法開発研究所

• 新宅 秀信

  松下電器産業 中研

• 津田 善行

  松下電器産業(株)デバイス工法開発研究所

• 横山 政秀

  松下電器産業株式会社生産技術研究所

• 新宅 秀信

  松下電器産業

• 安井 秀明

  松下電器産業株式会社中央研究所

• 津田 善行

  松下電器産業株式会社中央研究所

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