電子サイクロトロン共鳴プラズマによる黒鉛表面のフッ素化改質
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概要
著者
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岩本 信也
イオン工学研究所
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平尾 孝
大阪大学工学部電気工学科
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小寺 宏一
松下電器産業株式会社中央研究所
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田中 博由
松下電器産業株式会社中央研究所
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内田 正雄
松下電器産業株式会社中央研究所
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平尾 孝
株式会社松下テクノリサーチ
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岩本 信也
株式会社イオン工学研究所
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内田 正雄
松下電器産業(株)中央研究所
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田中 博由
松下電器産業(株)
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