酸化物ターゲットを用いたDCスパッタITO膜 : 第2報 : 搬送成膜結果

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概要

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著者

• 安井 秀明

  松下電器産業(株)デバイス工法開発研究所

• 津田 善行

  松下電器産業(株)デバイス工法開発研究所

• 安井 秀明

  松下電器産業株式会社デバイス工法開発研究所

• 津田 善行

  松下電器産業株式会社デバイス工法開発研究所

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