材料改質におけるイオンビームの利用
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概要
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Ion beam application on solid materials modification are reported. Two effects of ion beam, i.e., introduction of defects and excess atoms, are described with examples of ion implantation to semiconductors, superconductors and new high Tc superconductors.<BR>Ion implantation of oxygen to high Tc superconductors such as YBa<SUB>2</SUB>Cu<SUB>3</SUB>O<SUB>7-x</SUB>, followed by thermal annealing at 900-950°C, was demonstrated to be performed without losing high Tc superconducting characteristics up to a dose of 1×10<SUP>17</SUP>/cm<SUP>2</SUP> which adds the amount of about one excess oxygen to YBa<SUB>2</SUB>Cu<SUB>3</SUB>O<SUB>7-x</SUB>.
- 社団法人 粉体粉末冶金協会の論文
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