プラズマCVD法による被覆超硬合金の特性
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概要
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TiC layer could be deposited on the cemented carbide by plasma assisted CVD process at relatively lower temperatures compared with conventional CVD process. The characteristics of the TiC coated cemented carbide plasma CVD were studied.<BR>It was found that the strength of the TiC coated cemented carbide by plasma CVD was much improved compared with the conventional CVD, and it also showed a satisfactory performance for heavy duty interrupted cutting such as steel milling.
- 社団法人 粉体粉末冶金協会の論文
著者
-
池ケ谷 明彦
住友電気工業(株)
-
土居 陽
住友電気工業 伊丹研
-
土井 良彦
住友電気工業(株)
-
飛岡 正明
住友電気工業株式会社伊丹研究所電子部品研究部
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飛岡 正明
住友電気工業 伊丹研
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土居 陽
住友電気工業(株)
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土居 陽
住友電気工業
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飛岡 正明
住友電気工業(株)
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