表面波共鳴密度以下で維持されたマイクロ波プラズマ電子密度の誘電体窓厚依存性
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概要
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It has been shown experimentally that the electron density changes periodically when the thickness of the dielectric window changes in wave guide mode discharges, or hybrid surface wave mode discharges. It suggests there is a optimum thickness of the dielectric window.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2003-05-01
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