特集9 : 研究速報 : 分子線エピタキシーによる GaAs-AlAs超薄膜へテロ構造における単原子スケールの界面凹凸とその平坦化
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概要
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特集 生産・加エシステムの最適化
- 東京大学生産技術研究所,Institute of Industrial Science, the University of Tokyo,東京大学生産技術研究所第3部 電子工学の論文
- 1985-11-01
著者
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