高精度非接触式等倍露光(マスクアライメント)装置の性能評価
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
High-resolution proximity exposure (mask alignment) system for semiconductor micro fabrication has been developed and evaluated. A novel exposure system has laser displacement meter for high-precision measurement of the gap between the mask and the wafer. The repeatability error of the displacement meter was 0.025μm. The exposure system also contains highly collimated UV source. The illumination intensity uniformity was within 5% and the main wavelength was 365nm. The resolution of the system was 3 μm in proximity exposure (gap: 10 μm) and 1.5 μm in contact exposure.
著者
関連論文
- 高精度非接触式等倍露光(マスクアライメント)装置の性能評価
- プロジェクション用高輝度LED光源(ディスプレイに関する技術全般,LCD(バックライトを含む),PDP,有機/無機EL,CRT,FED,VFD,LEDなどのディスプレイに関するデバイス,部品・材料及び応用技術,発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会)
- プロジェクション用高輝度LED光源(発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会)
- MEMSジャイロセンサの極性反転によるドリフト抑制の検討
- 高輝度放射線計測制御技術調査専門委員会
- プロジェクション用高輝度LED光源
- 3037 木造三階建共同住宅の実大火災実験 : その5 : 室間延焼の測温特性
- グレイスケールリソグラフィと構造体転写を用いた感光材料と樹脂材料の微細3次元加工
- グレイスケールマスクによるSU-8への3次元構造体形成と転写
- エマルジョングレイスケールマスクの紫外線透過量と感光性ガラスの3次元加工
- DRIEによる極細スリーブ型光ファイバー圧力センサ形成
- ゾル・ゲル法による二次電子増倍膜と感光性ガラスを用いたマイクロチャネルプレート
- 長時間心電図ディジタル記録のための実時間データ圧縮
- 心電図自動解析による圧縮・再生心電図の評価
- デジタルミラーデバイスを用いた高速広帯域化光造形装置
- デジタルミラーデバイスを用いた高輝度広帯域光造形装置
- DMDを用いた広帯域高速光造形システム
- ドライプロセスによるSiマイクロチャネルプレートの開発
- 大気アニールしたNi触媒によるCNT成長制御
- FPD用CNTフィールドエミッション源の開発
- スピンコートシーディング法を用いた多結晶ダイヤモンド圧力センサ
- スピンコートシーディング法を用いたPドープダイヤモンドフィールドエミッション源
- スピンコートシーディング法によるFED用ダイヤモンド薄膜形成
- スパッタ法によるPZT薄膜形成
- ダイヤフラム型極細光ファイバ式圧力センサ
- 完全埋め込み型FES用集積回路の試作
- デジタルマイクロミラーデバイスを用いた非走査型光造形
- カテーテル式長寿命小型酸素センサ
- 感光性ガラスを用いた高アスペクト比単層形マイクロチャネルプレート(イメージセンシング技術)
- 感光性ガラスに電子増倍薄膜を形成したモノリシックマイクロチャネルプレート
- DMDを用いた紫外線露光機(マイクロマシン関連技術)
- 3073 3階建鉄鋼系プレハブ住宅の実大火災実験 : その5 : 出火室の測温特性
- 半導体加速度センサを用いた速度計測と教材への応用
- 感光性ガラスを用いた高アスペクト比マイクロチャネルプレート
- 感光性ガラスを用いたマイクロチャネルプレート
- シリコンマイクロリフレクタを用いた高密度フルカラーLEDディスプレイ
- pst5.半導体加速度センサを用いた簡易加速度計(大会テーマ「実感!体感!物理教育〜物理教育の原点への問いかけ〜」)
- 体外電力供給方式による埋め込み型機能的電気刺激装置
- 集積回路技術を用いた電子増倍素子
- 3)集積回路技術を用いた電子増倍素子(情報入力研究会)