DMDを用いた紫外線露光機(<小特集>マイクロマシン関連技術)
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概要
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Digital Micro-mirror Device (DMD)はマイクロマシニング技術を用いて製作された新しいデイスプレイ素子であり, プロジェクタに応用され, 実用化されている. ここでは, DMDを紫外線露光機として用いることにより, 投影露光機及び光造形への適用を試みた.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-03-25
著者
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