感光性ガラスを用いたマイクロチャネルプレート
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概要
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筆者らはSi単結晶基板上に微細加工技術を用いてマイクロチャネルプレート(MCP)基盤を形成し、電子増借膜をCVD法により内壁に成膜してMCPを製作する技術を開発してきた。しかし、Siの異方性エッチングにより得られるチャネル形状は、スリット状に限定され利得が不十分であった。本研究ではMCP基盤として感光性ガラスを用い、チャネル形状の制限を回避する方法を開発した。即ち、マスクパターンを用いて感光性ガラスを露光することにより感光部分のみにHFによる選択的なエッチングを行えることを利用して、マイクロチャネルの形成を行った。電子増倍膜はPbのアルコキシドを用いたゾル・ゲル法によりチャネル内壁に成膜した。この方法により試作したMCPは平均アスペクト比が8.4、最大電子増倍利得は22倍(入射電流51pA、印加電圧600V)を得た。
- 1995-12-14
著者
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