イットリウム系酸化物超伝導薄膜に関する研究

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概要

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• Superconducting thin films of Y-Ba-Cu-O on MgO(100) were fabricated using the process of RF sputtering. The target used here was Y-Ba-Cu-O pellets. This experiment put the substrate at off-centered position for the target. Compositional change of sputtered films were observed by the number of the Y-Ba-Cu-O pellets. The films were post- annealing in atmosphere at 900℃. The films have a Tc of about 30K using the cryostats with the mechanical compressor.

• 津山工業高等専門学校の論文
• 1992-02-25

著者

• 原田 寛治

  電気電子工学科

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